Menşe yeri: | Çin |
Marka adı: | Brother Furnace |
Sertifika: | CE |
Model numarası: | BR-PECVD |
Min sipariş miktarı: | 1 Set |
---|---|
Fiyat: | Negotiation |
Ambalaj bilgileri: | Küresel nakliye için güçlü ahşap kutu |
Teslim süresi: | 7-21 iş günü |
Ödeme koşulları: | L/c, T/T, Western Union |
Yetenek temini: | Aylık 200 setleri |
Maksimum Sıcaklık: | 1200 ℃ | Normal vakum: | -0,1MPa |
---|---|---|---|
Maksimum Vakum: | Yapılandırma moleküler pompa, Vakum 7x10-4 Pa (İsteğe bağlı) | flanş: | 304 paslanmaz çelik sızdırmazlık flanşı |
Aşırı sıcaklık koruması: | sıcaklık izin verilen ayar değerini aştığında otomatik kapanma | Güvenlik koruması: | Fırın gövdesi sızdığında otomatik olarak kapanır |
fırın yapısı: | çift katmanlı çelik çift soğutma fanı, yüzey sıcaklığı 50 ℃ altında | MAX ISITMA ORANI: | 20 ° C / dk. |
Sıcaklık hassasiyeti: | ± 1 ℃ | Sıcaklık Düzgünlüğü: | ± 5 ℃ |
Sıcaklık kontrolü: | 50 segment programlanabilir ve otomatik kontrol | Fırın tüpü: | QUARTZ TÜP |
Uygulama: | Plazma Geliştirilmiş LPCVD | ||
Vurgulamak: | döner tüp fırın,kuvars tüp fırın |
Standart Yedekler:
Opsiyonel Yedekler:
Lab PECVD Split Tüp Fırını Standart şartname:
1. Isıtma Sistemi | ||
Max.temperature | 1200 ℃ (1 saat) | |
Çalışma sıcaklığı | ≤1100 ℃ | |
Oda büyüklüğü | Φ100 * 1650mm (Tüp çapı özelleştirilebilir) | |
Oda malzemesi | Yüksek saflıkta alümina elyaf levha | |
ısıl çift | K tipi | |
Temperatureaccuracy | ± 1 ℃ | |
Sıcaklık kontrolü |
● Isıtma hızı, soğutma hızı ve bekleme süresinin hassas kontrolü için 50 programlanabilir segment. ● Dahili aşırı ısınma ve kırık termokupl kırık koruması ile PID Otomatik Ayarlama fonksiyonu. ● İçindeki PC kontrolörlü PLC otomatik kontrol sistemi. ● Sıcaklık kontrol sistemi, sürme sistemi (Zaman ve Mesafe) program ile kontrol edilebilir. |
|
Isıtma uzunluğu | 440mm | |
Sabit ısıtma uzunluğu | 200mm | |
Isıtma elemanı | Direnç teli | |
Güç kaynağı | Tek fazlı, 220V, 50Hz | |
Anma gücü | 9kW | |
2. RF Plazma Kaynağı | ||
RF frekansı | 13.56 MHz ±% 0.005 | |
Çıkış gücü | 500W | |
Maksimum yansıma gücü | 500W | |
RF çıkış arayüzü | 50 Ω, N tipi, dişi | |
Güç kararlılığı | ±% 0.1 | |
Harmonik bileşen | ≤-50dbc | |
Besleme gerilimi / Frekansı | Tek fazlı AC220V 50 / 60HZ | |
Tüm verimlilik | > =% 70 | |
Güç faktörü | > 90% | |
Soğutma yöntemi | Basincli hava | |
3. Üç hassas kütle debimetreler kontrol sistemi | ||
Dış boyut | 600x600x650mm | |
Konektör tipi | Swagelok SS bağlantısı | |
Standart aralık (N2) | 0 ~ 100sccm, 0 ~ 200sccm veya özelleştirilebilir | |
doğruluk | ±% 1.5 | |
Doğrusal | ± 0.5 °, 1.5% | |
Tekrarlanabilirlik | ±% 0.2 | |
Tepki Süresi |
Gaz özelliği: 1 ~ 4 sn; |
|
Basınç aralığı | 0.1 ~ 0.5 MPa | |
Maksimum basınç | 3mpa | |
Arayüz | Φ6,1 / 4 ' | |
Görüntüle | 4 haneli ekran | |
Ortam sıcaklığı | 5 ~ 45 yüksek saflıkta gaz | |
Basınç ölçer | .10,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 MPa / birim | |
Kesme vanası | Φ6 | |
Polonyalı SS tüp | Φ6 | |
Düşük vakum sistemi dahil |
Neden Brother'ın Laboratuvarı PECVD Split Tüp Fırını?
30'dan fazla ülkeden müşteriler bizi seçiyor
En iyi hizmeti, hızlı tepki
Eğer ilgileniyorsanız Vakum Pompalı 1200 ℃ Plazma Geliştirilmiş LPCVD Fırını, bir teklif almak için şimdi bize ulaşın!
İlgili kişi: li
Tel: +8613526693072