Menşe yeri: | Çin |
Marka adı: | Brother Furnace |
Sertifika: | CE |
Model numarası: | BR-PECVD |
Min sipariş miktarı: | 1 Set |
---|---|
Fiyat: | Negotiation |
Ambalaj bilgileri: | Küresel nakliye için güçlü ahşap kutu |
Teslim süresi: | 7-21 iş günü |
Ödeme koşulları: | L/c, T/T, Western Union |
Yetenek temini: | Aylık 200 setleri |
Maksimum Sıcaklık: | 1200 ℃ | Normal vakum: | -0,1MPa |
---|---|---|---|
Maksimum Vakum: | Yapılandırma moleküler pompa, Vakum 7x10-4 Pa (İsteğe bağlı) | flanş: | 304 paslanmaz çelik sızdırmazlık flanşı |
Aşırı sıcaklık koruması: | sıcaklık izin verilen ayar değerini aştığında otomatik kapanma | Güvenlik koruması: | Fırın gövdesi sızdığında otomatik olarak kapanır |
fırın yapısı: | çift katmanlı çelik çift soğutma fanı, yüzey sıcaklığı 50 ℃ altında | MAX ISITMA ORANI: | 20 ° C / dk. |
Sıcaklık hassasiyeti: | ± 1 ℃ | Sıcaklık Düzgünlüğü: | ± 5 ℃ |
Sıcaklık kontrolü: | 50 segment programlanabilir ve otomatik kontrol | Fırın tüpü: | QUARTZ TÜP |
Uygulama: | Plazma Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme Fırını | ||
Vurgulamak: | döner tüp fırın,kuvars tüp fırın |
Standart Yedekler:
Opsiyonel Yedekler:
Plazma Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme Fırını Standart özellikler:
1. Isıtma Sistemi | ||
Max.temperature | 1200 ℃ (1 saat) | |
Çalışma sıcaklığı | ≤1100 ℃ | |
Oda büyüklüğü | Φ100 * 1650mm (Tüp çapı özelleştirilebilir) | |
Oda malzemesi | Yüksek saflıkta alümina elyaf levha | |
ısıl çift | K tipi | |
Temperatureaccuracy | ± 1 ℃ | |
Sıcaklık kontrolü | ● Isıtma hızı, soğutma hızı ve bekleme süresinin hassas kontrolü için 50 programlanabilir segment. ● Dahili aşırı ısınma ve kırık termokupl kırık koruması ile PID Otomatik Ayarlama fonksiyonu. ● İçindeki PC kontrolörlü PLC otomatik kontrol sistemi. ● Sıcaklık kontrol sistemi, sürme sistemi (Zaman ve Mesafe) program ile kontrol edilebilir. | |
Isıtma uzunluğu | 440mm | |
Sabit ısıtma uzunluğu | 200mm | |
Isıtma elemanı | Direnç teli | |
Güç kaynağı | Tek fazlı, 220V, 50Hz | |
Anma gücü | 9kW | |
2. RF Plazma Kaynağı | ||
RF frekansı | 13.56 MHz ±% 0.005 | |
Çıkış gücü | 500W | |
Maksimum yansıma gücü | 500W | |
RF çıkış arayüzü | 50 Ω, N tipi, dişi | |
Güç kararlılığı | ±% 0.1 | |
Harmonik bileşen | ≤-50dbc | |
Besleme gerilimi / Frekansı | Tek fazlı AC220V 50 / 60HZ | |
Tüm verimlilik | > =% 70 | |
Güç faktörü | > 90% | |
Soğutma yöntemi | Basincli hava | |
3. Üç hassas kütle debimetreler kontrol sistemi | ||
Dış boyut | 600x600x650mm | |
Konektör tipi | Swagelok SS bağlantısı | |
Standart aralık (N2) | 0 ~ 100sccm, 0 ~ 200sccm veya özelleştirilebilir | |
doğruluk | ±% 1.5 | |
Doğrusal | ± 0.5 °, 1.5% | |
Tekrarlanabilirlik | ±% 0.2 | |
Tepki Süresi | Gaz özelliği: 1 ~ 4 sn; | |
Basınç aralığı | 0.1 ~ 0.5 MPa | |
Maksimum basınç | 3mpa | |
Arayüz | Φ6,1 / 4 ' | |
Görüntüle | 4 haneli ekran | |
Ortam sıcaklığı | 5 ~ 45 yüksek saflıkta gaz | |
Basınç ölçer | .10,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 MPa / birim | |
Kesme vanası | Φ6 | |
Polonyalı SS tüp | Φ6 | |
Düşük vakum sistemi dahil |
Neden Brother'ın Laboratuvarı Plazma Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme Fırını?
30'dan fazla ülkeden müşteriler bizi seçiyor
En iyi hizmeti, hızlı tepki
Eğer ilgileniyorsanız Plazma Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme Fırını, bir teklif almak için şimdi bize ulaşın!
İlgili kişi: li
Tel: +8613526693072